
4月30日下午,北京理工大学博士生导师、教育部“长江学者”特聘教授李艳秋博士在教三楼104为师生做了题为“先进光刻技术及应用”的学术报告。技术物理系主任苏玉玲主持了报告会。
李艳秋教授从集成芯片制作的过程切入,为大家详细介绍了光刻技术在半导体工业中的关键作用、光刻技术的发展历史和发展趋势以及高分辨率成像技术在光刻领域的应用。李教授指出,光刻技术是一门融合光学、材料学、化学等多学科的交叉技术,在微电子加工领域和国防领域有着十分重要的作用,我们国家在这方面与发达国家还有一定的距离,希望大家能够更多的关注相关领域的发展。 李教授还根据自己多年的科研经历谈及对科学研究的一些看法和观点,使大家对科研的认识更上一个新台阶。学术报告会前,李艳秋教授与技术物理系部分教师进行座谈,并对有可能进行合作的领域进行了深入交流。
李艳秋教授是我国先进光学制造技术方面专家,长期从事先进光刻技术和高分辨率成像技术,在光学设计、光学加工、非线性光学和MEMS技术等方面取得了国际前沿的研究成果。李艳秋教授的报告使在场师生受益匪浅,将对促进我校学科建设和科研工作起到良好的推动作用。

